Lam Research nedavno je predstavio svoj Dextro, prvog kolaborativnog robota na svijetu dizajniranog za održavanje opreme za proizvodnju poluvodiča, i rekao je da su robota koristile mnoge od vodećih svjetskih tvornica.
Dextro cobot je mobilna robotska ruka koja se nalazi na kolicima i kojom upravlja proizvodni tehničar ili inženjer za obavljanje tri ključna zadatka održavanja opreme uz pomoć raznih "ručnih alata":
2x preciznije od ljudske ruke pri ugradnji i sabijanju potrošnog materijala;
Precizno zatezanje visoko preciznih vakumiranih vijaka, s stopom pogreške do 5% kada ljudski zaposlenici ručno obavljaju ovaj ponavljajući zadatak;
Sve naslage polimera na bočnim stijenkama komore mogu se automatski ukloniti bez rastavljanja donje komore, zadatak koji je prije zahtijevao tešku opremu za zaštitu dišnog sustava.
To znači da Dextro može pomoći inženjerima tvornica u rješavanju često dugotrajnih, pogreškama sklonih ili opasnih zadataka održavanja, poboljšati ukupnu točnost procesa, smanjiti zahtjeve za radnom snagom, smanjiti otpad, smanjiti vrijeme zastoja i u konačnici povećati prinos tvornice.
Lam kaže da jedan Dextro cobot može opsluživati 50 do 100 Lam komora za alate i trenutno je dostupan za podršku svojoj Flex G/H seriji alata za dielektrično jetkanje, s proširenjem na druge alate i aplikacije koje počinju 2025. godine.
Kim Young Ju, potpredsjednik i voditelj tima za tehnologiju graviranja memorije u Samsung Electronicsu, rekao je:
Kada proizvodna oprema zahtijeva održavanje, bitno je da se posao obavi brzo i učinkovito kako bi se izbjegli produljeni zastoji alata i uzalud troškovi.
Dextrovo održavanje bez grešaka pomaže u poboljšanju varijabilnosti proizvodnje i prinosa. Ovo je uzbudljiva prekretnica za Samsung prema vlastitoj tvornici.